ENGINEERINGNET.BE - Collegevoorzitter Jouke de Vries van de Rijksuniversiteit Groningen: 'Het versterkt onze langjarige samenwerking met ASML en legt een solide basis voor toekomstige innovatie. Dit maakt nieuwe projecten mogelijk op een veelheid van onderzoeksthema’s, waarbij Groningen bijzondere kennis inbrengt, zoals die van het CogniGron-programma, en state-of-the-art AI-infrastructuur.'
De samenwerking die al jarenlang loopt met ASML via het NWO-instituut ARCNL, waarbij onder meer de Zernike-LEIF ionenbundelfaciliteit van de Rijksuniversiteit Groningen wordt ingezet, heeft belangrijke kennis opgeleverd in het kader van de EUV (extreme ultraviolet) lithografietechnologie van ASML voor de vervaardiging van de meest complexe computerchips.
Onlangs is deze samenwerking verder geïntensiveerd met een nieuw traject rond de volgende generatie belichtingstechnologie voor chips, waarbij met licht van een kortere golflengte nog fijnere patronen op chips kunnen worden aangebracht.
Ook wordt op andere terreinen nauw samengewerkt en zijn er nieuwe gezamenlijke onderzoeksprojecten gestart op het gebied van nieuwe materialen, vloeistof- en stromingsprocessen, speciale coatings en geavanceerde regeltechniek.
Deze onderzoeken leveren cruciale inzichten op die een rol spelen bij de ontwikkeling van toekomstige ASML-machines en die daarmee van belang zijn voor toekomstige generaties microchips.
