Nauwkeurige nanosensor maakt productie kleinere chips mogelijk

Onderzoek & Wetenschap 5/02/2020 14:41:59

TU Eindhoven bouwde een sensor met een buitengewone nauwkeurigheid die kleiner is dan de grootte van een atoom, om ASML in staat te stellen nog kleinere chips te maken.

Lees hieronder verder   
Verwant

VIB bouwt innovatieve bioincubator en nieuw hoofdkantoor

Wereldprimeur: DNA vouwt zich op in zigzag structuur

Wereldprimeur: cellen hebben ‘corvee’ binnen elektrische samenwerking

TU Eindhoven onderzoekt innovatieve argonmotor en 2D-nanomaterialen

Ontrafelen samenstelling van complexe moleculaire systemen

Eerste tewaterlating van nieuw onderzoeksschip RV Belgica

>> Meer verwant nieuws
Carrièrekansen (meer)
Agenda

Cursus: stoom in theorie en praktijk

Zebrastraat - Gent

dinsdag 31 maart 2020

Cursus Spoortechnieken - bijzondere projecten

Het Ingenieurshuis - Antwerpen

van 2/04/2020 tot 11/06/2020

Global Manufacturing and Industrialisation Summit

Messegelände - Hannover

van 20/04/2020 tot 21/04/2020

Machinery safety awareness training

Pilz Academy - Herentals

dinsdag 21 april 2020

PNOZmulti programming

Pilz Academy - Gent

woensdag 22 april 2020

Cursus: stoom in theorie en praktijk

Armstrong - Herstal

vrijdag 24 april 2020

Keuze van de redactie

(25/3) Nieuw Antwerps-Duits pijpleidingtraject ecologisch en economisch goede zaak

(24/3) DEME tekent MoU voor bouw Japanse offshore windprojecten

(17/3) Vorig jaar werd recordaantal octrooien aangevraagd

(16/3) VIB boekt vooruitgang in onderzoek naar geneesmiddel tegen coronavirus

(12/3) UAntwerpen leidt Europees onderzoek naar Corona

(11/3) Microgenerator van nanodraden vervangt batterij

>> Meer blikvangers

ENGINEERINGNET.BE - Met de nieuwste machines van ASML zijn computerchips te maken met details die niet groter zijn dan een paar nanometers.

De elektrische circuits op zo’n chip worden gemaakt door middel van lithografie: hierbij wordt een patroon geëtst op een schijf van silicium met behulp van ultraviolet licht. Omdat voor een chip meerdere van die patronen over elkaar gelegd worden, luistert de positionering van de siliciumschijf, ofwel wafer, erg nauw.

“Die wafers zijn best stijf, maar doordat ze met grote snelheid worden bewogen, vervormen ze door de g-krachten toch een beetje," aldus promovendus Stefanos Andreou. "Als we die vervorming kunnen meten, kan ASML dit compenseren om zo nog kleinere chips te maken.”

De gedachte achter de nieuwe supernauwkeurige sensor is dat afwijkingen in de frequentie van laserlicht bijzonder nauwkeurig te meten zijn: een principe dat wordt toegepast in zogeheten Fibre Bragg Gratings. Dit zijn een soort glasvezels die zodanig zijn bewerkt dat ze ondoorzichtig zijn voor een heel specifieke kleur licht. Deze zogeheten resonantiefrequentie is afhankelijk van de mate waarin de vezel wordt uitgerekt.

Daardoor kan zo’n Fibre Bragg Grating (FBG), aangebracht op de bewegende onderdelen in de chipmachine, gebruikt worden als maat voor de vervorming van de wafer.

Andreou testte een meetsysteem op basis van zo’n FBG-sensor in het lab. “In de praktijk zou ASML tientallen van zulke sensors nodig hebben, maar dat is geen probleem: ze zijn goedkoop te produceren en wegen bijna niets.”

Hij benadrukt dat de behaalde nauwkeurigheid van vijf nanometer per meter betekent dat in de sensor zelf - die een paar centimeter lang is - een vervorming van enkele tientallen picometers is te meten.

Hiervoor zijn geavanceerde stabilisatietechnieken nodig om ervoor te zorgen dat het gebruikte laserlicht exact de juiste frequentie heeft.

Om temperatuurschommelingen te compenseren, splitste Andreou het laserlicht dat voor de meting wordt gebruikt in twee componenten: “Voor elk van die componenten, of polarisatietoestanden, heeft de fiber een verschillende temperatuurafhankelijkheid van de resonantiefrequentie.”

Dat maakt het mogelijk om het effect van de temperatuur weg te strepen en heel nauwkeurig de vervorming te bepalen. Zelfs zo’n tien keer nauwkeuriger dan voorheen mogelijk was. << (Lydia Heida) (foto: ASML)

Abonneer op onze nieuwsbrief

Reageer of publiceer aanvullende informatie
Mis ook dit niet...

Nieuw Antwerps-Duits pijpleidingtraject ecologisch en economisch goede zaak

Sectorfederatie essenscia vlaanderen reageert positief op de beslissing van Vlaams minister van Omgeving Demir om de procedures rond de aanleg van dit nieuw pijpleidingraject op te starten.

DEME tekent MoU voor bouw Japanse offshore windprojecten

Penta-Ocean Construction en DEME Offshore hebben een memorandum van overeenstemming (MoU) gesloten met betrekking tot uitgebreide samenwerking voor de bouw van offshore windparken in Japan.

Vlaamse supercomputer ingezet in strijd tegen COVID-19

Om onderzoek rond dit virus nog beter te ondersteunen, gaat het VSC, als high-performance computing-centrum, gedurende 8 weken extra rekencapaciteit beschikbaar stellen van onderzoekers.

Nieuw PIC-fabricageproces pakt tekortkomingen aan

De huidige PIC-fabricagemethoden leiden tot grote variabiliteit, wat resulteert in een beperkte opbrengst, lange vertragingen tussen het conceptuele idee en het werkende apparaat, ...

Yvon Guérin wordt nieuwe CEO van Vandemoortele

De Raad van Bestuur van Vandemoortele meldt dat Yvon Guérin, huidige Managing Director Bakery Products, vanaf 1 juli 2020 Jules Noten zal opvolgen als CEO van het bedrijf.

Hoeveel elektrische auto’s kan het elektriciteitsnet aan?

Er rijden meer dan een miljard voertuigen rond op onze planeet, goed voor 1/5 van alle CO2-uitstoot. De switch naar elektrisch rijden kan onze ecologische voetafdruk gevoelig verminderen.

VUB-ingenieurs hebben nu ook een prototype beademings­toestel klaar

In de strijd tegen COVID-19 is een team ingenieurs aan het FabLab Brussels van de Vrije Universiteit Brussel begonnen aan het bouwen en testen van een eenvoudig beademings­toestel.

Sensoren geïnspireerd op bijzondere eigenschappen van dieren

De Nederlandse Rijksuniversiteit Groningen maakt nieuwe sensoren van zachte polymeren, geïnspireerd door de natuur, die onder meer geschikt zijn voor medische toepassingen.

Watson-Marlow is verhuisd

Niet alleen werd de firmanaam Watson-Marlow ook gewijzigd naar Watson-Marlow Fluid Technology Group (WMFTG), maar Watson-Marlow Benelux is verhuisd naar Oslo 9, NL-2993 LD Barendrecht van waaruit de hele Benelux bediend wordt. Door de verhuis werd ook het telefoonnummer gewijzigd. Dit is het nieuwe +31 (0)85 536 00 10. >>

Partners